Вакуумно-плазменные процессы и технологии

Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники»). В учебнике рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов и некоторые методы контроля технологических процессов. Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ407/21 от 16.12.2021.