Вакуумно-плазменные процессы и технологии

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Цель дисциплины: дать представление о современных вакуумно-плазменных (ионно-плазменных, плазмохимических, реактивно-ионных) технологиях, применяемых или имеющих перспективы применения в производстве материалов и изделий электронной техники, а также развить способности и сформировать навыки анализа применимости и возможностей отдельных технологий для конкретных технологических процессов. Регистрационный номер на портале Эксперт: Не зарегистрирован.