Course info
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое
моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления
подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки
«Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 8-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и
оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный
нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение
тонких пленок, магнетронное распыление).
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ170/15 от 10.11.2015.
- Преподаватель: Даниил Василькин
- Преподаватель: Наталия Витальевна Холодкова