Методы исследования поверхности твердого тела

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Методы экспериментального исследования поверхности», читаемой студентам направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (магистерская программа «Микро- и нанотехнологии в производстве изделий твердотельной электроники») в 3-м учебном семестре. Изучаются физико-химические основы и аналитические возможности экспериментальных методов исследования поверхности и тонких слоев материалов с целью диагностирования микро- и наноструктур, а также возможностей применения этих методов в микро- и нанотехнологиях.
Регистрационный номер на портале Эксперт: зарегистрирован 27.11.2020, регистрационный номер ЭУ322/20.