Course info
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине
«Методы экспериментального исследования поверхности», читаемой
студентам направления
подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (магистерская программа
«Микро- и нанотехнологии в производстве изделий твердотельной электроники») в 3-м учебном семестре. Изучаются физико-химические
основы и аналитические возможности экспериментальных методов исследования
поверхности и тонких слоев материалов с целью диагностирования микро- и
наноструктур, а также возможностей применения этих методов в микро- и
нанотехнологиях.
Регистрационный номер на портале Эксперт: зарегистрирован 27.11.2020, регистрационный номер ЭУ322/20.
- Преподаватель: Валерий Александрович Титов
- Преподаватель: Игорь Владимирович Холодков