Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и практических занятий по дисциплине
«Технология производства изделий микро- и наноэлектроники», читаемой
студентам направления
подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника",
профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целью освоения дисциплины является изучение технологических операций и технологических подходов,
применяемых при производстве изделий микро- и наноэлектроники. Регистрационный
номер на портале Эксперт:
Не зарегистрирован.
- Преподаватель: Дмитрий Александрович Шутов