Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и практических занятий по дисциплине
«Методы анализа и контроля материалов наноэлектроники», читаемой
студентам направления
подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника",
профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целями освоения дисциплины
являются изучение физико-химических основ и аналитических возможностей
экспериментальных методов исследования поверхности и тонких слоев материалов с
целью диагностирования микро- и наноструктур, а также возможностей применения
этих методов в микро- и нанотехнологиях. Регистрационный
номер на портале Эксперт:
Не зарегистрирован.
- Преподаватель: Валерий Александрович Титов