Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". В учебном курсе рассматриваются современных вакуумные технологические установки, методы получения, измерения и сохранения вакуума. Регистрационный номер на портале Эксперт: Не зарегистрирован.