Course info
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления
подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника",
профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника".
В учебном курсе рассматриваются современных вакуумные технологические установки, методы получения,
измерения и сохранения вакуума. Регистрационный
номер на портале Эксперт:
Не зарегистрирован.
- Преподаватель: Игорь Владимирович Холодков