Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине "Физика и технология тонких пленок", читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника в 6-м учебном семестре. Целью освоения дисциплины
является изучение физических явлений, происходящих на различных этапах
процесса напыления и роста пленок; существующих теорий роста тонких пленок, рассмотрению современных
методов роста и контроля качества пленок, их возможностях и ограничениях;
взаимосвязи физических свойств тонких пленок со структурой и дефектами. Регистрационный
номер на портале Эксперт:
ЭУ321/20 от 27.11.2020.
- Преподаватель: Наталия Витальевна Холодкова