Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по
дисциплине «Технология и оборудование производства компонентов микросистемной техники»,
читаемой студентам направления
подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника",
профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целями освоения дисциплины
являются формирование представлений об основных типах, конструкциях, принципе
работы изделий микросистемной техники, а также изучение технологии и оборудования для
производства отдельных изделий микросистемной техники.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ251/19 от 31.10.2019.
- Преподаватель: Татьяна Григорьевна Шикова