Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и практических занятий по дисциплине
«Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой
студентам направления
подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль
«Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в
6-м учебном семестре. В курсе рассмотрены современные тенденции развития электроники и методов
обработки полупроводниковых материалов и структур с использованием различных
технологий; технологическая подготовка
производства материалов и изделий электронной техники.
Регистрационный номер на портале Эксперт: зарегистрирован 26.02.2018, регистрационный номер ЭУ216/18.
- Преподаватель: Дмитрий Мурин
- Преподаватель: Сергей Александрович Пивоваренок
- Преподаватель: Дмитрий Вячеславович Ситанов