Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в 6-м учебном семестре. В курсе рассмотрены современные тенденции развития электроники и методов обработки полупроводниковых материалов и структур с использованием различных технологий; технологическая подготовка производства материалов и изделий электронной техники.
Регистрационный номер на портале Эксперт: зарегистрирован 26.02.2018, регистрационный номер ЭУ216/18.