Информация о курсе

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Корпускулярно-фотонные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроники») в 7-м учебном семестре. Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание уделено использованию лазерных, электронных и ионных процессов и технологий в электронной технике.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ237/18 от 25.12.2018