Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Корпускулярно-фотонные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в 7-м учебном семестре. Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание уделено использованию лазерных, электронных и ионных процессов и технологий в электронной технике.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ236/18 от 25.12.2018