Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и практических занятий по дисциплине
«Корпускулярно-фотонные процессы и технологии», читаемой
студентам направления
подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль
«Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в
7-м учебном семестре. Рассмотрены физико-химические основы процессов
корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные
технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание
уделено использованию лазерных, электронных и ионных процессов и
технологий в электронной технике.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ236/18 от 25.12.2018
- Преподаватель: Сергей Смирнов