Вакуумные технологические установки

Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники»). В курсе изучаются современные методы получения, измерения и сохранения вакуума, вакуумные приборы различного назначения и вакуумные установки. Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ390/21 от 02.12.2021.