Техника высокого вакуума

Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Техника высокого вакуума», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники»).В данном электронном учебнике рассмотрены вопросы, касающиеся техники высокого вакуума, включая способы получения вакуума, его измерения. Электронный учебник содержит задачи по разделам "Физика разреженных газов" и "Теоретические основы откачки". Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ392/21 от 02.12.2021.