Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления
подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки
«Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре.
В учебном курсе рассматриваются современных вакуумные технологические установки, методы получения,
измерения и сохранения вакуума.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ389/21 от 02.12.2021.
- Преподаватель: Игорь Владимирович Холодков