Лазерные технологические установки

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Лазерные технологические установки», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроники») в 7-м учебном семестре. Рассматриваются физико-химические основы процессов взаимодействия излучения лазеров с веществом, типовые лазерные установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание уделено использованию лазерных технологий в электронной технике.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ228/18 от 24.12.2018