Моделирование химико-технологических процессов

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Моделирование химико-технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в 8-м учебном семестре. В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение тонких пленок, магнетронное распыление).
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ267/19 от 21.11.2019.