Course info
Электронный
учебный курс предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Технология
и оборудование производства изделий твердотельной электроники и наноэлектроники», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04
«Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная
электроника»). Целями освоения дисциплины является формирование у студентов
комплекса знаний, умений и навыков в области микро- и нанотехнологических
процессов (процессов планарно-эпитаксиальной технологии) создания в объеме или
на поверхности твердого тела - подложки элементов и компонентов современной
интегральной компонентной базы. Регистрационный
номер на портале Эксперт:
Не зарегистрирован.
- Преподаватель: Дмитрий Александрович Шутов