Электронный учебный курс предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Технология и оборудование производства изделий твердотельной электроники и наноэлектроники», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника»). Целями освоения дисциплины является формирование у студентов комплекса знаний, умений и навыков в области микро- и нанотехнологических процессов (процессов планарно-эпитаксиальной технологии) создания в объеме или на поверхности твердого тела - подложки элементов и компонентов современной интегральной компонентной базы. Регистрационный номер на портале Эксперт: Не зарегистрирован.