Технология тонких пленок и покрытий

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине "Технология тонких пленок и покрытий", читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (профиль подготовки "Микроэлектроника и твердотельная электроника")  в 6-м учебном семестре. В курсе рассматриваются физические явления, происходящие на различных этапах процесса напыления и роста пленок; существующие теории роста тонких пленок, современные методы роста и контроля качества пленок, их возможности и ограничения; взаимосвязь физических свойств тонких пленок со структурой и дефектами. Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ166/15 от 10.11.2015.