Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине <Технология тонких пленок и покрытий>, читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 <Электроника и наноэлектроника> (профиль подготовки <Микроэлектроника и твердотельная электроника>)  в 6-м учебном семестре.