Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Технология производства изделий микро- и наноэлектроники», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целью освоения дисциплины является изучение технологических операций и технологических подходов, применяемых при производстве изделий микро- и наноэлектроники.