Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и практических занятий по дисциплине «Методы анализа и контроля материалов наноэлектроники», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целями освоения дисциплины являются изучение физико-химических основ и аналитических возможностей экспериментальных методов исследования поверхности и тонких слоев материалов с целью диагностирования микро- и наноструктур, а также возможностей применения этих методов в микро- и нанотехнологиях.