Корпускулярно-фотонные процессы и технологии

Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Корпускулярно-фотонные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание уделено использованию лазерных, электронных и ионных процессов и технологий в электронной технике. Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ328/20 от 01.12.2020.