Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в 8-м учебном семестре. В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение тонких пленок, магнетронное распыление). Регистрационный номер на портале Эксперт: Не зарегистрирован.