Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 8-м учебном семестре. В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение тонких пленок, магнетронное распыление).
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ170/15.