Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре. В учебном курсе рассматриваются современных вакуумные технологические установки, методы получения, измерения и сохранения вакуума.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ170/15.