Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Техника высокого вакуума», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре. В учебном курсе проводистся изучение теоретических основ вакуумной техники и современных методов получения, измерения и сохранения вакуума.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ170/15.