Информация о курсе
Электронный учебник предназначен для сопровождения занятий по
дисциплине «Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой
студентам направления
подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника",
профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Формируются знания в области современных тенденций
развития электроники и методов обработки полупроводниковых материалов и
структур с использованием различных технологий; развиваются навыки
по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной
техники, разработке технологических инструкций и сопутствующей документации с
описанием процессов обработки полупроводниковых подложек, используемого
оборудования и расходных материалов. Регистрационный
номер на портале Экспертиза: зарегистрирован 05.11.2019, регистрационный номер ЭУ254/19.
- Преподаватель: Дмитрий Вячеславович Ситанов