Электронный учебник предназначен для сопровождения  занятий по дисциплине «Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Формируются знания в области современных тенденций развития электроники и методов обработки полупроводниковых материалов и структур с использованием различных технологий; развиваются навыки по технологической подготовке производства материалов и изделий электронной техники, разработке технологических инструкций и сопутствующей документации с описанием процессов обработки полупроводниковых подложек, используемого оборудования и расходных материалов