Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине "Физика и технология тонких пленок", читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника в 6-м учебном семестре. Целью освоения дисциплины является изучение физических явлений, происходящих на различных этапах процесса напыления и роста пленок; существующих теорий роста тонких пленок, рассмотрению современных методов роста и контроля качества пленок, их возможностях и ограничениях; взаимосвязи физических свойств тонких пленок со структурой и дефектами. Регистрационный номер на портале Эксперт: Не зарегистрирован.