Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине "Технология тонких пленок и покрытий", читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника" (профиль подготовки "Микроэлектроника и твердотельная электроника")  в 6-м учебном семестре.

Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ166/15.