Информация о курсе

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Технология материалов наноэлектроники и микросистемной техники», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника»  в 5-м учебном семестре. В электронном учебнике рассмотрены вопросы технологии получения высоко чистых материалов наноэлектроники: металлов, полупроводниковых монокристаллов, стекла и керамики.

Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ320/20 от 27.11.2020.