Электронный учебник предназначен для сопровождения  занятий по дисциплине «Технология и оборудование производства компонентов микросистемной техники», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиля "Нанотехнологии и микросистемная техника". Целями освоения дисциплины являются формирование представлений об основных типах, конструкциях, принципе работы изделий микросистемной техники, а также изучение технологии и оборудования для производства отдельных изделий микросистемной техники.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ251/19 от 31.10.2019.