Электронный учебный курс предназначен для сопровождения занятий по дисциплине «Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника»). В курсе представлены современные тенденции развития электроники и методов обработки полупроводниковых материалов и структур с использованием различных технологий. Регистрационный номер на портале Экспертиза: зарегистрирован 31.08.2016, регистрационный номер ЭУ182/16.