Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Методы экспериментального исследования поверхности», читаемой студентам направления подготовки 18.04.01 «Химическая технология» (магистерская программа «Микро- и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники») в 3-м учебном семестре. Изучаются физико-химические основы и аналитические возможности экспериментальных методов исследования поверхности и тонких слоев материалов с целью диагностирования микро- и наноструктур, а также возможностей применения этих методов в микро- и нанотехнологиях.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ265/19 от 21.11.2019.