Course info
Электронный учебник предназначен для сопровождения
лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Техника высокого вакуума», читаемой студентам направления
подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки
«Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре.
В учебном курсе проводистся изучение теоретических основ
вакуумной техники и современных методов получения, измерения и сохранения
вакуума.
Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ169/15 от 10.11.2015.
- Преподаватель: Игорь Владимирович Холодков