Технология тонких пленок и покрытий

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине "Технология тонких пленок и покрытий", читаемой студентам направления подготовки  18.03.01 "Химическая технология" (профиль подготовки "Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники") в 6-м учебном семестре. В курсе рассматриваются физические явления, происходящие на различных этапах процесса напыления и роста пленок; существующие теории роста тонких пленок, современные методы роста и контроля качества пленок, их возможности и ограничения; взаимосвязи физических свойств тонких пленок со структурой и дефектами.

Регистрационный номер на портале Эксперт: ЭУ266/19 от 21.11.2019.